N型電池正面SE結(jié)構(gòu)的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010619097.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111739958A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111739958A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L31/0288(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 瞿輝;曹玉甲;楊松波;張強(qiáng);袁玲;楊三川 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司 |
| 地址 | 213123江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)陽(yáng)湖路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種N型電池正面SE結(jié)構(gòu)的制備方法，具體為在制絨后的N型硅片上生長(zhǎng)一層氧化層，然后按照細(xì)柵線(xiàn)的圖形位置在氧化層上利用激光進(jìn)行開(kāi)槽，再進(jìn)行硼擴(kuò)散，后續(xù)則進(jìn)行常規(guī)電池制備流程后，在開(kāi)槽處印刷金屬電極。由于氧化層對(duì)于硼擴(kuò)散具有一定的阻擋作用，因此在硼擴(kuò)散過(guò)程中，氧化層覆蓋區(qū)摻雜濃度較低，可形成淺摻雜區(qū)；而開(kāi)槽處則無(wú)氧化層或氧化層極薄，則形成重?fù)诫s區(qū)，從而形成硼擴(kuò)散面SE結(jié)構(gòu)。?? |
