一種N型TOPCon太陽能電池的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010483586.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111628047A 公開（公告）日 2020-09-04
申請公布號 CN111628047A 申請公布日 2020-09-04
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 袁玲;王芹芹;瞿輝;曹玉甲 申請（專利權(quán)）人 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司
地址 213123江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽湖路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種N型TOPCon太陽能電池的制作方法，包括如下步驟：a、雙面制絨：b、單面旋涂：c、單面氧化：在旋涂面形成一層含硼氧化硅層；d、形成重、輕摻雜區(qū)基底：使用掩模方式，在對應(yīng)金屬柵線位置形成保護(hù)重?fù)诫s區(qū)的有機(jī)掩膜層；使用HF完全去除有機(jī)掩膜層覆蓋區(qū)外的含硼氧化硅層及硼源，再去除有機(jī)掩膜層；e、完成重、輕摻雜：使用管式低壓擴(kuò)散法將旋涂的硼源完全推進(jìn)硅基體中，形成重?fù)诫s區(qū)；再進(jìn)行整面通源沉積，形成輕摻雜區(qū)；最后進(jìn)行高溫氧化形成80?100nm厚度的BSG層；后按照正常后續(xù)工序進(jìn)行。本發(fā)明可使硼選擇性發(fā)射極可以得到更高的光電轉(zhuǎn)換效率，從而提高太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。??