SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810017967.5 申請日 -
公開(公告)號 CN101251339A 公開(公告)日 2008-08-27
申請公布號 CN101251339A 申請公布日 2008-08-27
分類號 F27D17/00(2006.01);C01B31/36(2006.01) 分類 爐;窯;烘烤爐;蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 王曉剛 申請(專利權)人 咸陽新能源材料產業(yè)技術研究院有限責任公司
代理機構 西安創(chuàng)知專利事務所 代理人 陜西西科博爾科技有限責任公司;咸陽新能源材料產業(yè)技術研究院有限責任公司
地址 710054陜西省西安市雁塔路南段84號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法,所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置,用于移動收集裝置的離合行走機構,設置在收集裝置上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置,設置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置,密封連接裝置和/或收集裝置上設置有氣體出口。SiC合成爐氣體收集方法包括以下步驟:原料混合,裝爐;收集裝置到位,密封;空氣置換;生產碳化硅;CO氣體收集;停電冷卻;延時收集氣體;爐氣置換;收集裝置移出。采用該系統(tǒng)和方法有利于SiC合成爐氣體的持續(xù)穩(wěn)定回收,該系統(tǒng)占用空間小,對生產場地要求較低,可同時滿足露天和室內生產要求。