SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810017967.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101251339B 公開（公告）日 2011-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN101251339B 申請(qǐng)公布日 2011-05-11
分類號(hào) B08B15/04(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I;F27D17/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 王曉剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 咸陽(yáng)新能源材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 代理人 李子安
地址 710054 陜西省西安市雁塔路南段84號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法，所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置，用于移動(dòng)收集裝置的離合行走機(jī)構(gòu)，設(shè)置在收集裝置上的檢測(cè)分析裝置和均衡泄壓裝置，設(shè)置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置，密封連接裝置和/或收集裝置上設(shè)置有氣體出口。SiC合成爐氣體收集方法包括以下步驟：原料混合，裝爐；收集裝置到位，密封；空氣置換；生產(chǎn)碳化硅；CO氣體收集；停電冷卻；延時(shí)收集氣體；爐氣置換；收集裝置移出。采用該系統(tǒng)和方法有利于SiC合成爐氣體的持續(xù)穩(wěn)定回收，該系統(tǒng)占用空間小，對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)地要求較低，可同時(shí)滿足露天和室內(nèi)生產(chǎn)要求。