一種硅片切割廢砂漿中硅和碳化硅的回收方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210129869.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102659111A 公開（公告）日 2012-09-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN102659111A 申請(qǐng)公布日 2012-09-12
分類號(hào) C01B33/037(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉麗芝;羅波;朱三平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京遠(yuǎn)齊環(huán)?？萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京遠(yuǎn)齊環(huán)?？萍加邢薰?鹽城市樂農(nóng)環(huán)保科技有限公司
地址 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)秦淮路20號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片切割廢砂漿中硅和碳化硅的回收方法，它是利用電泳分離和超聲分散相結(jié)合的方法對(duì)硅片切割廢砂漿中硅粉和碳化硅進(jìn)行分離回收的節(jié)能環(huán)保工藝。本發(fā)明回收方法的成本低，環(huán)境友好，節(jié)約能耗，分離效果好。通過調(diào)節(jié)懸浮液的pH值，改變懸浮液中硅及碳化硅粉體的電動(dòng)電位使兩粉體的電動(dòng)電位處于一正一負(fù)狀態(tài)；同時(shí)進(jìn)行超聲分散削弱顆粒之間的相互作用，以達(dá)到最佳的分離效果。回收的高純硅微粉可以進(jìn)一步用作制備單晶硅或多晶硅棒材的原料，碳化硅粉體可以制備成磨料重新用于硅棒的切割或用作其他用途。