一種硅片切割廢砂漿中硅和碳化硅的回收方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210129869.7 申請日 -
公開（公告）號 CN102659111B 公開（公告）日 2014-06-25
申請公布號 CN102659111B 申請公布日 2014-06-25
分類號 C01B33/037(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉麗芝;羅波;朱三平 申請（專利權(quán)）人 鹽城市樂農(nóng)環(huán)?？萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京遠(yuǎn)齊環(huán)保科技有限公司;鹽城市樂農(nóng)環(huán)保科技有限公司
地址 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)秦淮路20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片切割廢砂漿中硅和碳化硅的回收方法，它是利用電泳分離和超聲分散相結(jié)合的方法對硅片切割廢砂漿中硅粉和碳化硅進(jìn)行分離回收的節(jié)能環(huán)保工藝。本發(fā)明回收方法的成本低，環(huán)境友好，節(jié)約能耗，分離效果好。通過調(diào)節(jié)懸浮液的pH值，改變懸浮液中硅及碳化硅粉體的電動電位使兩粉體的電動電位處于一正一負(fù)狀態(tài)；同時進(jìn)行超聲分散削弱顆粒之間的相互作用，以達(dá)到最佳的分離效果?；厥盏母呒児栉⒎劭梢赃M(jìn)一步用作制備單晶硅或多晶硅棒材的原料，碳化硅粉體可以制備成磨料重新用于硅棒的切割或用作其他用途。