一種基于白光干涉的量塊測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110535055.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113251897A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113251897A 申請公布日 2021-08-13
分類號 G01B5/02;G01B9/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王毅;姜云飛;馬振鶴;彭思龍;汪雪林;顧慶毅;趙效楠;王一潔;郭曉鋒 申請（專利權(quán)）人 蘇州中科行智智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京精金石知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉俊玲
地址 066004 河北省秦皇島市海港區(qū)泰山路143號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于白光干涉的量塊測量裝置及方法，涉及測量技術(shù)領(lǐng)域，包括低相干光源，分光元件，量塊，光譜儀，第一透明板，第二透明板，所述低相干光源發(fā)出的光進(jìn)入分光元件，從分光元件一端輸出的光經(jīng)第一透鏡組件匯聚在量塊左表面上；從分光元件另一端輸出的光經(jīng)過第二透鏡組件匯聚在量塊右表面上；從量塊和第一透明板反射的光經(jīng)分光元件進(jìn)入光譜儀形成第一干涉光譜；從量塊和第二透明板反射的光返回分光元件進(jìn)入光譜儀形成第二干涉光譜；光譜儀記錄這兩個(gè)干涉光譜的疊加信號再傳輸?shù)綌?shù)據(jù)處理模塊處理。本發(fā)明結(jié)合傅里葉變換的頻率和相位，實(shí)現(xiàn)了基于白光干涉的量塊的高精度測量，無需接觸，操作方便。