一種線輪廓成像裝置的解調(diào)方法及成像裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110535064.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113251945A 公開(公告)日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113251945A 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) G01B11/24;G01B11/00;G01B9/02 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 王毅;施家正;彭思龍;汪雪林;顧慶毅;趙效楠;王一潔;郭曉鋒 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州中科行智智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京精金石知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尉月麗
地址 066004 河北省秦皇島市海港區(qū)泰山路143號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種線輪廓成像裝置的解調(diào)方法,通過獲取被測(cè)物品上的干涉光譜并計(jì)算幅度譜獲取極大值點(diǎn)的橫坐標(biāo)序數(shù),計(jì)算干涉光譜的分光譜的相位,進(jìn)而計(jì)算線輪廓分布并進(jìn)行修正,非卷繞范圍較大,抗噪能力較強(qiáng),容易判斷去卷繞是否出錯(cuò)。本發(fā)明還提供了一種線輪廓成像裝置,能夠防止被測(cè)物品對(duì)成像造成遮擋,使用相對(duì)較窄的低相干光源產(chǎn)生線形光,實(shí)現(xiàn)毫米數(shù)量級(jí)的大范圍、納米級(jí)的高分辨率測(cè)量及成像,實(shí)施成本較低。