一種激光微納投影打印系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120516371.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214645943U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214645943U 申請公布日 2021-11-09
分類號 B29C64/268（2017.01）I;B33Y30/00（2015.01）I 分類 塑料的加工；一般處于塑性狀態(tài)物質(zhì)的加工;
發(fā)明人 魏一振;張卓鵬 申請（專利權(quán)）人 杭州志英科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 311215浙江省杭州市蕭山區(qū)傳化科創(chuàng)大廈1幢蕭山科技城301-56室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種激光微納投影打印系統(tǒng)，包括光源模塊，光源模塊包括激光器和兩路光路，激光器為兩路光路提供光源，兩路光路的波長不同；空間調(diào)制模塊，對兩路光路調(diào)制分別產(chǎn)生第一光強(qiáng)空間分布圖第二光強(qiáng)空間分布圖；微縮投影模塊，包括物鏡，第一光強(qiáng)分布圖和第二光強(qiáng)分布圖成像于物鏡的焦平面上；載物位移模塊，用于對樣品或光刻膠的三維掃描和光刻，第一光強(qiáng)分布圖和第二光強(qiáng)分布圖部分重疊聚焦在光刻膠上，產(chǎn)生非簡并雙光子吸收效應(yīng)；控制模塊，用于控制光源模塊、空間調(diào)制模塊和載物位移模塊。本申請的激光微納投影打印系統(tǒng)，能夠提高打印精度和打印速度。