一種高精度激光微納投影打印方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110263909.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113043588A 公開（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113043588A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) B29C64/124（2017.01）I;B29C64/386（2017.01）I;B29C64/268（2017.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y30/00（2015.01）I;B33Y50/00（2015.01）I 分類 塑料的加工；一般處于塑性狀態(tài)物質(zhì)的加工;
發(fā)明人 魏一振;張卓鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州志英科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 311215浙江省杭州市蕭山區(qū)傳化科創(chuàng)大廈1幢蕭山科技城301-56室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高精度激光微納投影打印方法及系統(tǒng)，基于非簡(jiǎn)并雙光子聚合效應(yīng)，采用不同波長(zhǎng)的兩束飛秒激光，利用空間光調(diào)制器產(chǎn)生圖形化光強(qiáng)分布，校準(zhǔn)調(diào)節(jié)兩個(gè)空間光調(diào)制器產(chǎn)生的有效成像區(qū)域后，兩個(gè)空間光調(diào)制器產(chǎn)生的兩個(gè)光強(qiáng)分布圖在光刻膠上部分重疊，部分重疊區(qū)域激發(fā)非簡(jiǎn)并雙光子聚合效應(yīng)進(jìn)行光刻。本申請(qǐng)的一種高精度激光微納投影打印方法及系統(tǒng)，通過“重疊投影光刻”技術(shù)來提高加工精度，同時(shí)利用空間光調(diào)制器產(chǎn)生圖形化光強(qiáng)分布，實(shí)現(xiàn)高效率的并行微納加工。