一種LTCC腔體結(jié)構(gòu)基板濕法制作裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820806961.5 申請日 -
公開（公告）號 CN208336153U 公開（公告）日 2019-01-04
申請公布號 CN208336153U 申請公布日 2019-01-04
分類號 H01L21/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙成剛;李廣新;康建宏;陳魯國;劉齊輝 申請（專利權(quán)）人 東莞成電創(chuàng)新電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 廣東成電華瓷電子科技有限公司;東莞成電創(chuàng)新電子科技有限公司
地址 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)總部二路17號B111
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種LTCC腔體結(jié)構(gòu)基板濕法制作裝置，包括流延成型品，所述流延成型品內(nèi)設(shè)有腔體，所述流延成型品由多組所述流延基板組成，且流延基板之間疊加堆放，所述流延基板的一側(cè)表層設(shè)有兩邊沿設(shè)有銜接條，且流延基板位于銜接條的正下方開設(shè)有銜接凹槽，所述流延基板的中間位置設(shè)有通孔。本實用新型通過設(shè)置硅橡膠體阻斷該部分區(qū)域漿料進(jìn)入，硅橡膠體與流延漿料中的丙烯酸樹脂因自身的化學(xué)性質(zhì)相互排斥，流延結(jié)束后經(jīng)過靜置、烘干、等靜壓便可將硅橡膠體輕松取出，該裝置制作的基板腔體內(nèi)壁光滑、平整，且硅橡膠體造價低廉，可根據(jù)腔體尺寸需要加工成各種形狀，較LTCC干法工藝動輒上千萬的設(shè)備來說大大降低了設(shè)備成本。