一種用于制備金剛石的基臺(tái)組件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510870990.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106811737B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106811737B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-05-07 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/458（2006.01）I; C23C16/27（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 唐永炳; 朱雨; ?；芑?/td> | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 徐州景瀾新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院 |
| 地址 | 221000 江蘇省徐州市泉山區(qū)泉山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)騰飛路6號(hào)泉山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)管委會(huì)1-295 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明適用于金剛石合成技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于制備金剛石的基臺(tái)組件，包括水冷臺(tái)和設(shè)置在所述水冷臺(tái)上的基片托，所述水冷臺(tái)和所述基片托緊密連接，其中，所述基片托近外邊緣處的上下表面開(kāi)設(shè)環(huán)形槽，分別形成上熱橋和下熱橋，所述水冷臺(tái)和所述基片托之間設(shè)置有導(dǎo)熱墊圈，所述導(dǎo)熱墊圈設(shè)置在所述基片托下表面、以所述下熱橋?yàn)榻绲耐馊Σ糠帧?/td> |
