一種用于碳化硅晶片腐蝕裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021747962.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213061107U 公開(kāi)（公告）日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213061107U 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類號(hào) C30B33/10;C30B29/36 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 胡秋冬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建北電新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 362211 福建省泉州市晉江市陳埭鎮(zhèn)江浦社區(qū)企業(yè)運(yùn)營(yíng)中心大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于碳化硅晶片腐蝕裝置，包括機(jī)械臂、坩堝和加熱爐，坩堝放置在加熱爐內(nèi)，坩堝內(nèi)裝有堿性腐蝕液，所述機(jī)械臂包括立柱、正反轉(zhuǎn)電機(jī)、升降支架和機(jī)械手，正反轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在立柱上，所述升降支架由固定導(dǎo)軌、齒輪條和“7”字型支架組成，所述正反轉(zhuǎn)電機(jī)主軸前面裝有齒輪，所述正反轉(zhuǎn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)齒輪條及固定導(dǎo)軌帶動(dòng)支架上下移動(dòng)，所述支架前端通過(guò)快速轉(zhuǎn)換接頭連接機(jī)械手。本實(shí)用采用自動(dòng)化的將晶片放入強(qiáng)堿腐蝕液，代替人為操作，避免人員受到傷害，且機(jī)械手設(shè)置有一定的傾斜角，使得晶片傾斜的進(jìn)入到強(qiáng)堿腐蝕液中，容易被浸沒(méi)，傾斜的拿出，減少了腐蝕液附著在晶片的表面張力，解決了破片和過(guò)腐蝕的風(fēng)險(xiǎn)。