晶體生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911308001.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110886014B 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN110886014B 申請公布日 2021-07-27
分類號 C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳澤斌;張潔;廖弘基;陳華榮 申請（專利權(quán)）人 福建北電新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超成律師事務所 代理人 王雪
地址 362200福建省泉州市晉江市陳埭鎮(zhèn)江浦社區(qū)企業(yè)運營中心大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶體生長裝置，涉及晶體制備裝置的技術(shù)領(lǐng)域，該晶體生長裝置包括坩堝、包覆在坩堝的外側(cè)的保溫罩以及隔離罩；隔離罩沿坩堝的側(cè)壁的周向環(huán)設在坩堝的側(cè)壁與保溫罩之間。本發(fā)明通過在保溫罩與坩堝之間設置隔離罩，隔離罩避免了硅蒸氣逸出到保溫罩上，從而避免了對保溫罩造成腐蝕，保證了保溫罩的保溫效果，提高了晶體生長的穩(wěn)定性；并延長了保溫罩的使用壽命，使得保溫罩不需要頻繁更換，也不需要加厚，節(jié)約了制備保溫罩的保溫材料，降低了保溫罩的用料成本以及人工更換的人工成本。