晶體原料盛載裝置及晶體生長(zhǎng)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010235219.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111349971B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111349971B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-23 |
| 分類號(hào) | C30B35/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 陳澤斌;王旻峰;廖弘基;陳華榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 福建北電新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超成律師事務(wù)所 | 代理人 | 陳治位 |
| 地址 | 362200福建省泉州市晉江市陳埭鎮(zhèn)江浦社區(qū)企業(yè)運(yùn)營(yíng)中心大廈 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種晶體原料盛載裝置及晶體生長(zhǎng)裝置，涉及晶體生長(zhǎng)設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，晶體原料盛載裝置包括依次水平相鄰緊靠設(shè)置的多個(gè)承載單元，多個(gè)承載單元中包括對(duì)應(yīng)于遠(yuǎn)離籽晶承載裝置上的籽晶的小平面的一端設(shè)置的第一承載單元；沿遠(yuǎn)離籽晶的小平面的一端向靠近籽晶的小平面的一端的方向，從第一承載單元至位于第一承載單元靠近籽晶的小平面的一側(cè)的承載單元，每個(gè)承載單元能夠承載的原料的高度依次降低；本發(fā)明能夠降低小平面位置的多型轉(zhuǎn)變幾率，提高晶體良率。?? |
