測(cè)試HEMT器件體泄漏電流和表面泄漏電流的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410317290.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104062484B 公開（公告）日 2016-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN104062484B 申請(qǐng)公布日 2016-08-17
分類號(hào) G01R19/00(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄭雪峰;范爽;康迪;王沖;張建坤;杜鳴;毛維;曹艷榮;馬曉華;郝躍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 陜西西安電子科大資產(chǎn)經(jīng)營(yíng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 陜西電子工業(yè)專利中心 代理人 西安電子科技大學(xué);陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心有限公司
地址 710071 陜西省西安市太白南路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種測(cè)試HEMT器件體泄漏電流和表面泄漏電流的方法，主要解決現(xiàn)有技術(shù)不能對(duì)常規(guī)HEMT器件的柵泄漏電流進(jìn)行體泄漏電流與表面泄漏電流分離測(cè)試的問題。其實(shí)現(xiàn)方案是：制作兩個(gè)與被測(cè)HEMT器件結(jié)構(gòu)相同，柵電極尺寸各不相同的測(cè)試輔助器件；利用半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試設(shè)備分別測(cè)試被測(cè)HEMT器件和這兩個(gè)測(cè)試輔助器件的柵泄漏電流；將兩個(gè)測(cè)試輔助器件的柵泄漏電流作差得到被測(cè)HEMT器件的體泄漏電流；用被測(cè)HEMT器件的柵泄漏電流與其體泄漏電流作差，得到被測(cè)HEMT器件的表面泄漏電流。本發(fā)明測(cè)試方法快速簡(jiǎn)便，結(jié)果準(zhǔn)確可靠，能夠?yàn)楹罄m(xù)分析體泄漏電流和表面泄漏電流產(chǎn)生機(jī)理和提高HEMT器件的可靠性提供依據(jù)。