真空設備用小車送料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010090654.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111321386A 公開（公告）日 2020-06-23
申請公布號 CN111321386A 申請公布日 2020-06-23
分類號 C23C14/56(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡方勤;宋振綸;鄭必長;楊麗景;張青科;趙國田;曠鑫文;張?zhí)?/td> 申請（專利權）人 包頭希迪瑞科技有限公司
代理機構 杭州華進聯(lián)浙知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李麗華
地址 315201浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種真空設備用小車送料裝置，其包括支架、樣品臺、承載板及傳動機構。樣品臺可滑動地設置在支架上。承載板固定在樣品臺的下方，與樣品臺相配合，以承載樣品。傳動機構用于帶動樣品臺相對于承載板進行移動，從而驅動樣品進行自轉。本申請使得樣品的多個表面能夠同時進行鍍膜，且能減少打開真空設備及再次抽真空的時間，有效提高生產(chǎn)效率。??