真空設(shè)備用小車送料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010090654.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111321386B 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN111321386B 申請公布日 2022-03-15
分類號 C23C14/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡方勤;宋振綸;鄭必長;楊麗景;張青科;趙國田;曠鑫文;張?zhí)?/td> 申請（專利權(quán)）人 包頭希迪瑞科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李麗華
地址 315201浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種真空設(shè)備用小車送料裝置，其包括支架、樣品臺(tái)、承載板及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。樣品臺(tái)可滑動(dòng)地設(shè)置在支架上。承載板固定在樣品臺(tái)的下方，與樣品臺(tái)相配合，以承載樣品。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)樣品臺(tái)相對于承載板進(jìn)行移動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)樣品進(jìn)行自轉(zhuǎn)。本申請使得樣品的多個(gè)表面能夠同時(shí)進(jìn)行鍍膜，且能減少打開真空設(shè)備及再次抽真空的時(shí)間，有效提高生產(chǎn)效率。