一種用于真空鍍膜的螺桿傳送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711219101.8 申請日 -
公開(公告)號 CN108085647A 公開(公告)日 2018-05-29
申請公布號 CN108085647A 申請公布日 2018-05-29
分類號 C23C14/32;C23C14/50 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋振綸;胡方勤;丁雪峰;楊麗景;鄭必長;張青科;姜建軍 申請(專利權(quán))人 包頭希迪瑞科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所;包頭中科金蒙磁材綠色防護技術(shù)研發(fā)中心有限公司;包頭希迪瑞科技有限公司
地址 315201 浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于真空鍍膜的螺桿傳送裝置,包括:樣品臺,與真空鍍膜設(shè)備的真空鍍膜腔體配合;傳送模塊,安裝在所述樣品臺上用于將樣品從上料區(qū)傳送至鍍膜區(qū);動力源,固定在真空鍍膜腔體外部;第一傳動連接件,一端與所述動力源連接,另一端伸入所述真空鍍膜腔體內(nèi)與所述傳送模塊可拆卸傳動連接;其特征在于,所述傳送模塊包括:螺桿,轉(zhuǎn)動安裝在所述樣品臺上,所述螺桿的螺紋作為物料槽;光桿,安裝在所述樣品臺上位于所述螺桿的一側(cè)以共同支撐物料;第二傳動連接件,一端與所述螺桿傳動連接,另一端與所述由所述傳動連接件可拆卸傳動連接;本發(fā)明可實現(xiàn)一次多面鍍膜,無需翻面,減少開箱和再次抽真空時間,大大提高了效率,且整體結(jié)構(gòu)簡單、加工成本低。