一種針對PinFin基板的快速熱校準(zhǔn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011115272.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112198410A 公開（公告）日 2021-01-08
申請公布號 CN112198410A 申請公布日 2021-01-08
分類號 G01R31/26(2014.01)I;G01K7/02(2021.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄧二平;趙雨山;陳杰;謝露紅;黃永章 申請（專利權(quán)）人 華電（煙臺）功率半導(dǎo)體技術(shù)研究院有限公司
代理機構(gòu) 煙臺智宇知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 華電（煙臺）功率半導(dǎo)體技術(shù)研究院有限公司
地址 264006山東省煙臺市開發(fā)區(qū)香港路16號華日工業(yè)園2號樓101號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種針對Pin Fin基板的快速熱校準(zhǔn)裝置，包括電磁加熱板，與現(xiàn)有技術(shù)不同的是：所述電磁加熱板的上表面直接或間接抵接導(dǎo)熱良好的槽體的下表面，所述槽體內(nèi)盛裝滿細(xì)沙，需測量的Pin Fin基板埋入所述細(xì)沙內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明縮短了校準(zhǔn)時間，提高了校準(zhǔn)效率。??