一種針對(duì)PinFin基板的快速熱校準(zhǔn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022321075.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213302426U 公開(公告)日 2021-05-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN213302426U 申請(qǐng)公布日 2021-05-28
分類號(hào) G01R31/26(2014.01)I;G01K7/02(2021.01)I 分類 -
發(fā)明人 鄧二平;趙雨山;陳杰;謝露紅;黃永章 申請(qǐng)(專利權(quán))人 華電(煙臺(tái))功率半導(dǎo)體技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 煙臺(tái)智宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 趙文峰
地址 264006山東省煙臺(tái)市開發(fā)區(qū)香港路16號(hào)華日工業(yè)園2號(hào)樓101號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種針對(duì)Pin Fin基板的快速熱校準(zhǔn)裝置,包括電磁加熱板,與現(xiàn)有技術(shù)不同的是:所述電磁加熱板的上表面直接或間接抵接熱導(dǎo)體材料的槽體的下表面,所述槽體內(nèi)盛裝滿細(xì)沙,需測(cè)量的Pin Fin基板埋入所述細(xì)沙內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型縮短了校準(zhǔn)時(shí)間,提高了校準(zhǔn)效率。??