一種高品質(zhì)因數(shù)的三維電感器結(jié)構(gòu)及其制作工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610707516.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106298735B 公開（公告）日 2018-10-02
申請公布號 CN106298735B 申請公布日 2018-10-02
分類號 H01L23/522;H01L21/768 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙文生;鄭杰;陳世昌;徐魁文;王高峰 申請（專利權(quán)）人 杭州法動科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 杜軍
地址 310018 浙江省杭州市下沙高教園區(qū)2號大街
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種高品質(zhì)因數(shù)的三維電感器結(jié)構(gòu)及其制作工藝。該三維電感器由多個元件單元構(gòu)成，電感元件的輸入輸出端口位于基底頂部的金屬層；元件單元包括位于基底頂部的金屬層、兩個圓環(huán)狀的硅通孔陣列、位于基底底部的重新布局層；其中兩個圓環(huán)狀的硅通孔陣列左右對稱設(shè)置。本發(fā)明利用bosch工藝在硅基底挖空槽，減小硅基底損耗。運用金屬線連接兩個圓環(huán)中的硅通孔，相較與傳統(tǒng)硅通孔構(gòu)造的電感器具有較大的電感值，同時充分利用正互感值(同圓環(huán)中硅通孔的電流流向都相同，金屬層和重新布局層中金屬線中電流流向分別相同)，增強電感值。