雙面電極結(jié)構(gòu)的MEMS微鏡及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110545663.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113376826A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113376826A 申請公布日 2021-09-10
分類號 G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李偉;徐靜 申請（專利權(quán)）人 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 233000安徽省蚌埠市禹會區(qū)冠宜大廈2號樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種雙面電極結(jié)構(gòu)的MEMS微鏡及其制備方法。MEMS微鏡包括框架；可動微光反射鏡，位于所述框架內(nèi)；彈性梁，與所述框架和/或所述可動微光反射鏡相連接；梳齒結(jié)構(gòu)，與所述框架及所述可動微光反射鏡連接以驅(qū)動所述可動微光反射鏡旋轉(zhuǎn)，所述梳齒結(jié)構(gòu)包括上梳齒與下梳齒，所述上梳齒的頂面高于所述下梳齒的頂面，且所述上梳齒與所述下梳齒在水平面上的投影交錯排列；第一上梳齒電極及第二上梳齒電極，與所述上梳齒相連接，且上下相對應(yīng)；第一下梳齒電極及第二下梳齒電極，與所述下梳齒相連接。采用本發(fā)明，電極引線槽的尺寸及位置等可根據(jù)設(shè)計需要靈活選擇，可以極大提高器件靈活度，可以使得MEMS微鏡應(yīng)用范圍更廣。