靜電驅(qū)動(dòng)MEMS微鏡陣列及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010351741.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111538154A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111538154A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-14 |
| 分類號(hào) | G02B26/08(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李偉;徐靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 233000安徽省蚌埠市禹會(huì)區(qū)冠宜大廈2號(hào)樓三層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種靜電驅(qū)動(dòng)MEMS微鏡陣列及其制備方法，微鏡陣列包括：N個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)MEMS微鏡及隔離槽；每個(gè)微鏡包括：由可動(dòng)鏡面及固定支撐結(jié)構(gòu)形成的可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)；位于可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)下方的可動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)；上梳齒結(jié)構(gòu)及下梳齒結(jié)構(gòu)，下梳齒結(jié)構(gòu)的一側(cè)形成有第一上電極引線槽及電極隔離槽；帶有運(yùn)動(dòng)空間的基底，基底上形成有第二上電極引線槽和下電極引線槽，第一、二上電極引線槽對(duì)齊貫通形成上電極引線槽；鏡面反射層及焊盤(pán)。將可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)設(shè)置于微驅(qū)動(dòng)器的上方，可以達(dá)到很高的占空比，可實(shí)現(xiàn)大尺寸大轉(zhuǎn)角可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)的制作；工藝簡(jiǎn)單可控，可適于大規(guī)模生產(chǎn)，并且可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)的形狀、厚度等可靈活選擇，應(yīng)用范圍廣。?? |
