一種具有大鏡面的MEMS轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010402584.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113671689A 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN113671689A 申請公布日 2021-11-19
分類號 G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 徐靜;李偉 申請（專利權(quán)）人 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 林麗麗
地址 233000安徽省蚌埠市禹會區(qū)冠宜大廈2號樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種具有大鏡面的MEMS轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu)，包括：扭轉(zhuǎn)臺面；轉(zhuǎn)軸，對稱設(shè)于所述扭轉(zhuǎn)臺面的相對兩側(cè)；反射鏡面，通過鏡面支撐體設(shè)于所述扭轉(zhuǎn)臺面的上方；平衡質(zhì)量塊，設(shè)于所述扭轉(zhuǎn)臺面的下方。通過本發(fā)明解決了現(xiàn)有傘狀轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu)存在抗振可靠性的問題。