大尺寸MEMS垂直梳齒微鏡及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010350516.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111552072A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111552072A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | G02B26/08(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 李偉;徐靜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 233000安徽省蚌埠市禹會(huì)區(qū)冠宜大廈2號(hào)樓三層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種大尺寸MEMS垂直梳齒微鏡及其制備方法，該微鏡包括：由可動(dòng)鏡面及固定支撐結(jié)構(gòu)形成的可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)；位于可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)下方且與固定支撐結(jié)構(gòu)鍵合的可動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)；設(shè)置于可動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)外側(cè)的上梳齒結(jié)構(gòu)及下梳齒結(jié)構(gòu)；帶有運(yùn)動(dòng)空間且與下梳齒結(jié)構(gòu)鍵合的基底；位于可動(dòng)鏡面表面的金屬反射層、位于上梳齒結(jié)構(gòu)引線區(qū)域及下梳齒結(jié)構(gòu)引線區(qū)域的焊盤(pán)。該結(jié)構(gòu)利用MEMS工藝實(shí)現(xiàn)大尺寸MEMS垂直梳齒微鏡的制備，將可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)設(shè)置于微驅(qū)動(dòng)器的上方，可實(shí)現(xiàn)大尺寸大轉(zhuǎn)角可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)的制作；另外，制作工藝簡(jiǎn)單可控，可適于大規(guī)模生產(chǎn)，并且可動(dòng)微光反射鏡結(jié)構(gòu)的形狀、厚度等可根據(jù)設(shè)計(jì)需要靈活選擇，靈活度高，應(yīng)用范圍更廣。?? |
