一種基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測試裝置及測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110538492.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113218338A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113218338A 申請公布日 2021-08-06
分類號 G01B11/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙旭東;方杰;杜鋮柯 申請（專利權(quán)）人 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 233000 安徽省蚌埠市禹會區(qū)冠宜大廈2號樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測試裝置及測試方法，多點(diǎn)位測試裝置包括：入射光模塊，包括擴(kuò)束準(zhǔn)直激光光源、光闌、空間光開光及光路輔助鏡片，所述擴(kuò)束準(zhǔn)直激光光源用于產(chǎn)生照射在所述光闌上的平行激光束，所述光闌用于控制平行激光束寬度，所述空間光開關(guān)設(shè)置在經(jīng)所述光闌出射光的光路上，用于控制激光束通斷，所述光路輔助鏡片用于改變激光束的光路以將激光束照射在待測芯片上；光接收模塊，包括聚光部件及像點(diǎn)接收屏，所述聚光部件用于將經(jīng)所述待測芯片反射的激光束照射在所述像點(diǎn)接收屏上。通過本發(fā)明的基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測試裝置，實(shí)現(xiàn)大幅提高生產(chǎn)測試效率，降低封測成本的目的。