一種轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)及MEMS雙軸轉(zhuǎn)鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010403516.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113671690A 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113671690A 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) G02B26/08（2006.01）I;F16C11/04（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 徐靜;李偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 林麗麗
地址 233000安徽省蚌埠市禹會(huì)區(qū)冠宜大廈2號(hào)樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)及MEMS雙軸轉(zhuǎn)鏡，所述轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)包括：導(dǎo)電輔梁，設(shè)于所述導(dǎo)電輔梁上方或下方的導(dǎo)電主梁，及隔開所述導(dǎo)電輔梁和所述導(dǎo)電主梁的空氣間隙。通過本發(fā)明解決了現(xiàn)有三明治結(jié)構(gòu)的外轉(zhuǎn)軸存在斷裂等可靠性問題及影響器件溫度穩(wěn)定性的問題。