硅片校正機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021013605.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213340324U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請公布號 | CN213340324U | 申請公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號 | H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 孫松 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州邁為科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 唐清凱 |
| 地址 | 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)龐金路1801號龐金工業(yè)坊D02幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及一種硅片校正機(jī)構(gòu)，包括：底座；兩個推片件，均可滑動地設(shè)在所述底座上，兩個所述推片件相對設(shè)置；運(yùn)動件，可滑動地設(shè)在所述底座上，所述運(yùn)動件上開設(shè)有兩個運(yùn)動滑軌，兩個所述推片件分別滑動與兩個所述運(yùn)動滑軌滑動連接，所述運(yùn)動件在第一方向上運(yùn)動時，帶動兩個所述推片件朝相互靠近或相互遠(yuǎn)離；兩個所述推片件用于在相互靠近時對硅片夾持校正；驅(qū)動裝置，連接所述運(yùn)動件，用于帶動所述運(yùn)動件在所述第一方向上運(yùn)動?，F(xiàn)有技術(shù)中需要兩個氣缸連接兩個推片件，本實施方式中通過運(yùn)動件的設(shè)置，使得單個氣缸可以帶動兩個推片件相互靠近或相互遠(yuǎn)離，節(jié)省了硅片校正機(jī)構(gòu)的成本。?? |
