料盒壓緊組件和硅片加工設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022965196.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213691979U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213691979U 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫松 申請（專利權(quán)）人 蘇州邁為科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 張丹
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)龐金路1801號龐金工業(yè)坊D02幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種料盒壓緊組件及硅片加工設(shè)備。該料盒壓緊組件包括驅(qū)動組件；壓料組件，包括推板、壓板及彈性件，所述推板連接于所述驅(qū)動組件，以使所述驅(qū)動組件驅(qū)動所述推板沿第一方向移動，所述壓板設(shè)置于所述推板在所述第一方向上的一側(cè)，且相對所述推板沿所述第一方向可移動，所述彈性件設(shè)置于所述推板與所述壓板之間，用于提供使得所述壓板具有沿所述第一方向遠(yuǎn)離所述推板的移動趨勢的作用力。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型能夠避免料盒被壓壞和被壓變形。