基于圖像清晰度的自動面型跟蹤對焦系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910447143.X 申請日 -
公開(公告)號 CN110208289A 公開(公告)日 2019-09-06
申請公布號 CN110208289A 申請公布日 2019-09-06
分類號 G01N21/958(2006.01)I; G01N21/01(2006.01)I; H04N5/232(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 譚健; 張國棟; 瞿攀; 黃小飛 申請(專利權(quán))人 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
地址 430000 湖北省武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)車城南路69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了基于圖像清晰度的自動面型跟蹤對焦系統(tǒng)及方法,屬于玻璃基板檢測技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括相機(jī),其用于采集玻璃基板上各個檢測區(qū)域的圖像信息;三軸驅(qū)動單元,其用于驅(qū)動相機(jī)在玻璃基板上方運動;計算機(jī),其用于存儲預(yù)設(shè)的最佳軌跡信息,并控制所述三軸驅(qū)動單元驅(qū)動所述相機(jī)沿預(yù)設(shè)的最佳軌跡信息移動;其中,所述預(yù)設(shè)的最佳軌跡信息被配置為:使所述相機(jī)沿設(shè)定的順序拍攝所述各個檢測區(qū)域,以及在各個檢測區(qū)域以對應(yīng)的Z軸高度拍攝該檢測區(qū)域。該裝置對玻璃基板進(jìn)行檢測時直接調(diào)用先前存儲的對焦定位序列數(shù)組快速的實現(xiàn)定位和對焦,采集出玻璃基板的最佳清晰的圖像,提高了對玻璃基板表面檢測的效率。