一種基于位置探測器的實(shí)時(shí)對(duì)焦裝置及對(duì)焦方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110880565.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113329184A 公開（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113329184A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) H04N5/232（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 黃小飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 李景
地址 430000湖北省武漢市武漢經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)園16號(hào)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于位置探測器的實(shí)時(shí)對(duì)焦裝置及對(duì)焦方法。本申請(qǐng)?zhí)峁┑膶?shí)時(shí)對(duì)焦裝置包括：光學(xué)頭，用于對(duì)晶圓進(jìn)行拍照掃描，并在所述晶圓上定義第一拍攝點(diǎn)；Z軸電機(jī)，與所述光學(xué)頭連接，用于帶動(dòng)所述光學(xué)頭沿著Z軸方向調(diào)整高度；紅外激光器，用于向晶圓上的第一拍攝點(diǎn)發(fā)射激光，并在第一拍攝點(diǎn)上形成光斑；位置探測器，其用于檢測所述光斑的位置信息；控制器，其用于根據(jù)所述位置信息計(jì)算第一拍攝點(diǎn)的Z軸高度，并根據(jù)所述Z軸高度調(diào)整所述光學(xué)頭高度以進(jìn)行對(duì)焦。本申請(qǐng)?zhí)峁┑膶?shí)時(shí)對(duì)焦裝置能夠保證光學(xué)頭實(shí)時(shí)跟隨晶圓的Z向高度變化，保證晶圓的拍照視野始終處于光學(xué)頭的景深范圍內(nèi)，提高了光學(xué)頭的工作效率。