缺陷檢測方法、裝置、設(shè)備及可讀存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110800459.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113256635A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113256635A 申請公布日 2021-08-13
分類號 G06T7/00;G06T7/60;G06T7/73;G06T7/90;G06T3/40 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 劉曉龍 申請（專利權(quán)）人 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 韓夢晴
地址 430000 湖北省武漢市武漢經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)園16號樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種缺陷檢測方法、裝置、設(shè)備及可讀存儲介質(zhì)，缺陷檢測方法包括：采集不同制程工藝與尺寸的玻璃基板的圖像，將圖像進(jìn)行預(yù)處理；將經(jīng)過預(yù)處理后的圖像按特征點(diǎn)對位拼接，得到各個(gè)不同制程工藝與尺寸對應(yīng)的高分辨率圖像；計(jì)算各個(gè)高分辨率圖像上所有外圍電路區(qū)域中像素點(diǎn)的灰度值的平均值和中位值得到各個(gè)不同制程工藝與尺寸玻璃基板對應(yīng)的數(shù)值范圍；根據(jù)待檢測的玻璃基板選取相同制程工藝與尺寸對應(yīng)的目標(biāo)數(shù)值范圍；若待檢測的玻璃基板圖像存在至少一個(gè)處于外圍電路區(qū)域的目標(biāo)像素點(diǎn)的灰度值不處于所述目標(biāo)數(shù)值范圍內(nèi)，則待檢測的玻璃基板有缺陷。通過本發(fā)明能適用于不同制程工藝的復(fù)雜外圍電路區(qū)的缺陷檢測，簡化了參數(shù)設(shè)置。