一種用于晶圓檢測的Z-Theta組合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110845560.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113299585A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113299585A 申請公布日 2021-08-24
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;G01N33/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭建華 申請（專利權(quán)）人 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 李景
地址 430000湖北省武漢市武漢經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)園16號樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于晶圓檢測的Z?Theta組合裝置。本申請?zhí)峁┑腪?Theta組合裝置，包括：底板；Z軸模塊，包括Z軸負(fù)載板和楔狀的Z軸滑塊，Z軸滑塊放置在底板上，Z軸負(fù)載板滑動設(shè)置在Z軸滑塊的頂端斜面上；第一驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動Z軸滑塊沿著底板在水平方向移動，Z軸滑塊水平移動后帶動Z軸負(fù)載板沿著豎直方向移動；T軸模塊，包括設(shè)置在Z軸負(fù)載板上方的T軸負(fù)載板；第二驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動T軸負(fù)載板旋轉(zhuǎn)運動；吸盤，設(shè)置在T軸負(fù)載板的上方，用于放置晶圓，吸盤上開設(shè)若干小孔；頂桿組，其一端連接在所述底板上，另一端穿過Z軸負(fù)載板后伸入吸盤的小孔內(nèi)，頂桿組在吸盤的位置下降后將晶圓頂起。