一種管內(nèi)氣相沉積設(shè)備進(jìn)氣裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022360460.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213476096U | 公開（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213476096U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-18 |
| 分類號(hào) | C23C16/455（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 俞佳賓;李凡;眭立洪;施國棋;王龍飛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇永鼎光纖科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州知途知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馬剛強(qiáng) |
| 地址 | 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)越秀路888號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種管內(nèi)氣相沉積設(shè)備進(jìn)氣裝置，包括一端連接氣柜的進(jìn)氣管和一端連接卡盤的反應(yīng)管，反應(yīng)管的另一端套設(shè)在所述進(jìn)氣管的另一端外側(cè)，所述進(jìn)氣管和反應(yīng)管之間設(shè)有彈性密封件，彈性密封件外壁與所述反應(yīng)管內(nèi)壁間密封，所述彈性密封件內(nèi)壁與所述進(jìn)氣管外壁間留有間隙，還包括真空密封組件，真空密封組件包括套設(shè)在所述彈性密封件外側(cè)的真空密封件主體，真空密封件主體上開設(shè)有高純氣體進(jìn)氣口、抽真空進(jìn)氣口、抽真空排氣口和空氣進(jìn)氣口。本實(shí)用新型的管內(nèi)氣相沉積設(shè)備進(jìn)氣裝置，通過在機(jī)床卡盤和氣柜間增加一套密封裝置，采用抽真空原理，利用氣體實(shí)現(xiàn)密封，解決了旋轉(zhuǎn)密封的問題，使用氣體密封代替磁液密封或航空脂，成本低。 |
