一種制備大尺寸摻氟石英管的方法及摻氟石英管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110393643.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113264670A 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN113264670A 申請公布日 2021-08-17
分類號 C03B37/018 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王龍飛;李凡;顧建宏;帥小立;劉順;冀云磊;張佚;吳林清 申請（專利權(quán)）人 江蘇永鼎光纖科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州睿昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈彬彬
地址 215000 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)318國道74K處蘆墟段北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備大尺寸摻氟石英管的方法及摻氟石英管，該方法包括以下步驟：S10、在靶棒表面沉積二氧化硅粉末，得到疏松體棒；S20、將疏松體棒轉(zhuǎn)移至燒結(jié)爐中，對疏松體棒進行脫水處理，得到純化疏松體棒；S30、向燒結(jié)爐中通入含有C2F6和氦氣的混合氣體一，對純化疏松體棒進行氟摻雜，得到純化摻氟疏松粉棒；S40、向燒結(jié)爐中通入含有C2F6和氦氣的混合氣體二，對純化摻氟疏松粉棒進行燒結(jié)，使其完全玻璃化，得到燒結(jié)預(yù)制棒；S50、重復(fù)步驟S10?S40n次，得到燒結(jié)預(yù)制棒成品，n為總沉積次數(shù)；S60、將燒結(jié)預(yù)制棒成品加工成石英管。本發(fā)明通過多次沉積和氟摻雜疏松體棒，可增大摻氟石英管尺寸、保證氟含量均勻性。具有工藝簡單，摻氟效果好的優(yōu)點。