晶體制備壓力容器的壓力控制系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110798426.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113502545A | 公開（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113502545A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-15 |
| 分類號(hào) | C30B29/40（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B11/00（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 袁韶陽;于會(huì)永;馮佳峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 大慶溢泰半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 黑龍江省百盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫淑榮 |
| 地址 | 163000黑龍江省大慶市高新區(qū)新泰路3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種晶體制備壓力容器的壓力控制系統(tǒng)，涉及壓力控制技術(shù)領(lǐng)域，包括壓力容器、密封石英管和壓力容器的進(jìn)氣排氣系統(tǒng)，所述的密封石英管位于壓力容器內(nèi)，所述的密封石英管不少于三個(gè)，多個(gè)密封石英管依次套裝，用于磷化銦單晶生長(zhǎng)的多晶料、摻雜劑、液封劑及紅磷裝于最內(nèi)層的密封石英管內(nèi)，其余密封石英管內(nèi)填充有石墨粉和紅磷，其中紅磷的質(zhì)量由內(nèi)管向外管呈梯度下降，保證磷升華為P4狀態(tài)每層石英管的內(nèi)外壓差均不大于1atm，密封石英管底部與其外層的密封石英管底部之間設(shè)置有支撐塊。本發(fā)明使得由內(nèi)向外每一層石英管內(nèi)的壓強(qiáng)呈梯度下降，從而使最內(nèi)層石英管的內(nèi)壓與壓力容器的內(nèi)壓實(shí)現(xiàn)了平穩(wěn)過渡，避免密封石英管內(nèi)外壓差劇變發(fā)生炸管事故。 |
