一種生長(zhǎng)半絕緣砷化鎵單晶的摻碳裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120631538.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214529324U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN214529324U 申請(qǐng)公布日 2021-10-29
分類號(hào) C30B31/18（2006.01）I;C30B31/08（2006.01）I;C30B29/42（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 雷仁貴;于會(huì)永;馮佳峰;袁韶陽(yáng);趙中陽(yáng);張軍軍;趙春鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大慶溢泰半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 黑龍江省百盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫淑榮
地址 163000黑龍江省大慶市高新區(qū)新泰路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種生長(zhǎng)半絕緣砷化鎵單晶的摻碳裝置，涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，包括石英管，石英管內(nèi)沿周向均勻放置有PBN坩堝，每個(gè)PBN坩堝下端通過(guò)一個(gè)支撐件進(jìn)行支撐，石英管下側(cè)的密封卡頭下方設(shè)置有與支撐件同軸的行星輪，排氣管路與石英管同軸，排氣管路上固定安裝有太陽(yáng)輪，每一個(gè)行星輪與太陽(yáng)輪齒輪嚙合，下側(cè)的密封卡頭側(cè)面設(shè)置有驅(qū)動(dòng)輪，驅(qū)動(dòng)輪與密封卡頭齒輪嚙合。本申請(qǐng)?jiān)诠に嚿霞缺ＷC了C沿軸向的均勻分布，PBN坩堝內(nèi)壁多余的C，又會(huì)與液封劑B2O3發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而析出，不會(huì)影響單晶的成品率。本申請(qǐng)?jiān)诮Y(jié)構(gòu)上一次可進(jìn)行多只PBN坩堝的碳沉積，氣相沉積過(guò)程中石英管及內(nèi)側(cè)的PBN坩堝均處于轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)，使每一只PBN坩堝徑向受熱更均勻，碳沉積也就更加均勻。