一種半導(dǎo)體材料的單晶生長(zhǎng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120255112.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214244664U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN214244664U 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) C30B11/00（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 雷仁貴;于會(huì)永;馮佳峰;袁韶陽(yáng);趙中陽(yáng);張軍軍;趙春峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大慶溢泰半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 黑龍江省百盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫淑榮
地址 163000黑龍江省大慶市高新區(qū)新泰路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種半導(dǎo)體材料的單晶生長(zhǎng)裝置，涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，包括加熱爐、封料石英管、裝料坩堝和支撐裝置，所述的裝料坩堝為透明的石英坩堝，所述的封料石英管外側(cè)設(shè)置有隔熱環(huán)，所述的隔熱環(huán)上端面為外高內(nèi)低的錐面，所述的錐面上放置有反光鏡A；所述的加熱爐包括加熱筒和保溫筒，加熱筒與保溫筒之間留有間隙，所述的加熱筒的上下兩端設(shè)置有封蓋，其中上端的封蓋由透明耐高溫材料制成，從而反光鏡A的反射光線能夠通過(guò)上端的封蓋折射出去。本發(fā)明利用光的反射原理解決了現(xiàn)有的溫度梯度凝固法無(wú)法觀察固液面的問(wèn)題，了解固液面位置有利于緩慢降溫與精密移動(dòng)晶體生長(zhǎng)。