藍寶石晶體的脫碳去色退火方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN00111882.X 申請日 -
公開(公告)號 CN1093182C 公開(公告)日 2002-10-23
申請公布號 CN1093182C 申請公布日 2002-10-23
分類號 C30B33/02;C30B29/20 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐軍;周國清;鄧佩珍 申請(專利權)人 上海中科嘉浦光電子材料有限公司
代理機構 上海智信專利代理有限公司 代理人 上海中科嘉浦光電子材料有限公司
地址 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1411號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種藍寶石晶體的脫碳去色退火方法,主要包括兩大步驟:首先將待退火的藍寶石晶體置于退火爐內,進行高溫氧化氣氛退火,消除晶體內低價態(tài)雜質離子Cr3+、Ti3+對可見光的吸收和利用高溫下氧氣去碳的吸附作用。第二步進行高溫強還原氣氛脫碳退火,在充入氫氣的退火爐內升至溫度高達1600℃至2200℃,恒溫100小時以上,利用分子狀態(tài)下的氫氣吸附碳,達到徹底脫碳的目的。經過上述退火的藍寶石晶體無色透明,透過率提高了,位錯密度降低了。