高溫氧化物晶體的生長爐
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN99252128.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN2400459Y | 公開(公告)日 | 2000-10-11 |
申請公布號 | CN2400459Y | 申請公布日 | 2000-10-11 |
分類號 | C30B15/14 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 徐軍;陳杏達;陳偉;鐘鶴裕 | 申請(專利權)人 | 上海中科嘉浦光電子材料有限公司 |
代理機構 | 上海華東專利事務所 | 代理人 | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
地址 | 201800上海市800-211郵政信箱 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種高溫氧化物晶體的生長爐,主要適用提拉法生長像釩酸釔(YVO4)和摻釹釩酸釔(Nd:YVO4)的高溫氧化物晶體。它包括置于爐罩中心位置上盛放熔體的熔體坩堝,由熔體坩堝至爐罩之間,依次有間隙層,呈坩堝或圓筒狀的載熱體,隔熱層和感應加熱線圈。感應加熱線圈,通過隔熱層,感應載熱體,載熱體將熱量輻射給熔體坩堝,使熔體坩堝內的熔體溫度緩慢而均勻地升高,形成熱場溫度梯度小,從而生長出大尺寸優(yōu)質的晶體。 |
