一種碳碳化硅陶瓷靶坯的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110454130.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113135756A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113135756A 申請公布日 2021-07-20
分類號 C04B35/528;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/645;B28B3/02 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 姚力軍;王巨寶;王學(xué)澤;楊慧珍 申請（專利權(quán)）人 上海戎創(chuàng)鎧迅特種材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 201401 上海市奉賢區(qū)肖塘路255弄10號1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種碳碳化硅陶瓷靶坯的制備方法，所述制備方法包括如下步驟：將碳?碳化硅復(fù)合粉裝模進(jìn)行冷壓，之后依次進(jìn)行熱壓燒結(jié)和降溫，得到所述碳碳化硅陶瓷靶坯；所述碳?碳化硅復(fù)合粉中顆粒的球形度為0.8?1，粒度為120?180μm；所述熱壓燒結(jié)包括依次進(jìn)行的第一保溫、第二保溫和保溫保壓。通過對制備過程中原料球形度及配比的控制，并采用預(yù)先冷壓的方式實現(xiàn)了高性能的靶坯的制備，制備得到的靶坯和背板焊接時可以實現(xiàn)良好的浸潤，進(jìn)而保證靶材和背板可以實現(xiàn)良好的焊接，焊接結(jié)合率高達(dá)99％及以上，致密度可達(dá)99％以上，成材率也可達(dá)98％以上。