一種碳化硅復(fù)合靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110287506.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112811908A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112811908A 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類(lèi)號(hào) C04B35/565;C04B35/622;C04B35/645 分類(lèi) 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;王巨寶;單長(zhǎng)濱;王學(xué)澤;王科 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海戎創(chuàng)鎧迅特種材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 201401 上海市奉賢區(qū)肖塘路255弄10號(hào)1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種碳化硅復(fù)合靶材及其制備方法，所述制備方法包括以下步驟：將碳化硅粉末、碳粉、粘結(jié)劑和溶劑混合進(jìn)行濕法球磨，得到混合漿料；將混合漿料進(jìn)行噴霧造粒，得到造粒粉末；將造粒粉末進(jìn)行冷等靜壓成型，得到靶材坯料；將靶材坯料進(jìn)行熱壓燒結(jié)，得到碳化硅復(fù)合靶材。本發(fā)明所述方法根據(jù)原料的特性選擇濕法球磨工藝，再經(jīng)噴霧造粒、冷等靜壓成型，得到粉末混合均勻、致密度高的坯料，避免熱壓燒結(jié)過(guò)程中出現(xiàn)粉末外溢和噴出的問(wèn)題；再經(jīng)對(duì)熱壓燒結(jié)工藝的控制，得到質(zhì)量穩(wěn)定，性能一致的靶材產(chǎn)品，滿足后續(xù)濺射使用的性能要求；所述方法操作簡(jiǎn)單，連貫性好，成本較低，適用范圍廣。