一種新型“三明治”結(jié)構(gòu)柔性熱膜微傳感器及制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811330397.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109553061B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109553061B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-04-02 |
| 分類號(hào) | B81B7/00(2006.01)I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 馬炳和;孫寶云;王朋彬;鄧進(jìn)軍;羅劍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 西安礪芯慧感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 | 代理人 | 呂湘連 |
| 地址 | 710086 陜西省西安市西咸新區(qū)灃東新城豐業(yè)大道西段天章三路1212號(hào)灃東創(chuàng)智云谷5號(hào)樓2層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種新型“三明治”結(jié)構(gòu)柔性熱膜微傳感器及制作方法，屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。本發(fā)明采用頂層熱敏單元(5)?中間絕緣層(3)?底層發(fā)熱單元(6)的三層薄膜結(jié)構(gòu)，頂層熱敏單元(5)和底層發(fā)熱單元(6)之間通過(guò)中間絕緣層(3)進(jìn)行電隔離，相互獨(dú)立工作。頂層熱敏單元(5)和底層發(fā)熱單元(6)結(jié)構(gòu)尺寸完全相同對(duì)稱且工作溫度相同，消除了頂層熱敏單元向基底的熱傳導(dǎo)，大大提高了傳感器的測(cè)量精度和動(dòng)態(tài)特性。通過(guò)薄膜沉積和兩次光刻工藝實(shí)現(xiàn)傳感器結(jié)構(gòu)的制備，保證了頂層熱敏單元(5)和底層發(fā)熱單元(6)空間位置關(guān)系。?? |
