一種新型柔性剪應(yīng)力與壓力傳感器結(jié)構(gòu)和制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810633223.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN108871656A 公開（公告）日 2018-11-23
申請公布號(hào) CN108871656A 申請公布日 2018-11-23
分類號(hào) G01L11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馬炳和;王朋彬;孫寶云;羅劍;鄧進(jìn)軍 申請（專利權(quán)）人 西安礪芯慧感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 代理人 呂湘連
地址 710086 陜西省西安市西咸新區(qū)灃東新城豐業(yè)大道西段天章三路1212號(hào)灃東創(chuàng)智云谷5號(hào)樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型柔性剪應(yīng)力與壓力傳感器結(jié)構(gòu)和制作方法，屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。首先本發(fā)明可分別測量剪應(yīng)力和壓力。采用柔性基底，具有可彎曲扭轉(zhuǎn)、曲面適應(yīng)性等優(yōu)點(diǎn)。首先將柔性基底貼附在玻璃片上，在上邊先后分別濺射二氧化硅、阻刻層、測線、發(fā)熱單元等形成發(fā)熱單元和測量單元分離的具有納米空腔的傳感器。本發(fā)明的有益效果是：(1)傳感器可以分別測量剪應(yīng)力和壓力，可實(shí)現(xiàn)單次安裝測量多個(gè)物理參數(shù)；(2)傳感器采用柔性基底，具有可彎曲扭轉(zhuǎn)、曲面適應(yīng)性好等優(yōu)點(diǎn)。(3)傳感器具有較高的長寬比，靈敏度高、響應(yīng)速度快。