一種易于放大的鈣鈦礦表面鈍化工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110095004.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113161487A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113161487A 申請公布日 2021-07-23
分類號 H01L51/42;H01L51/44;H01L51/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱桂;安揚;陳偉中;范利生;田清勇;范斌 申請（專利權）人 昆山協(xié)鑫光電材料有限公司
代理機構 蘇州企航知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 朱丹
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路366號6號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種易于放大的鈣鈦礦表面鈍化工藝，包括以下步驟：S1：取第一基底玻璃，并在第一基底玻璃上依次制備第一電極、電子傳輸層和鈣鈦礦層；S2：取第二基底玻璃，在所述第二基底玻璃上依次制備第二電極及空穴傳輸層，隨后在空穴傳輸層上制備鈍化層；S3：用熱壓法將步驟S1和S2中制備的半成品鈣鈦礦器件通過高溫壓制在一起，且鈣鈦礦層和鈍化層相互貼合，形成最終完整的鈣鈦礦器件，本工藝能夠將小器件使用到的鈣鈦礦表面鈍化工藝成功放大到大組件的制備中，減少鈍化層的溶液對鈣鈦礦的破壞，提高器件效率及穩(wěn)定性；并且使鈍化工藝中采用的溶劑不受太多限制，拓展了其選擇范圍。