用于連續(xù)制備大面積鈣鈦礦組件的設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022295678.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213278121U 公開(kāi)(公告)日 2021-05-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN213278121U 申請(qǐng)公布日 2021-05-25
分類(lèi)號(hào) H01L51/48(2006.01)I;H01L51/42(2006.01)I 分類(lèi) -
發(fā)明人 牛歡歡;袁晨辰;陳偉中;田清勇;范斌 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 昆山協(xié)鑫光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 趙世發(fā)
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)元豐路199號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于連續(xù)制備大面積鈣鈦礦組件的設(shè)備,其包括:第一鈣鈦礦組件加工機(jī)構(gòu),其至少用于制作形成第一鈣鈦礦層;第二鈣鈦礦組件加工機(jī)構(gòu),其至少用于制作形成第二鈣鈦礦層;第一傳送機(jī)構(gòu),其至少用于將制作形成的第一部分結(jié)構(gòu)輸送至退火機(jī)構(gòu);第二傳送機(jī)構(gòu),其至少用于將制作形成的第二部分結(jié)構(gòu)輸送至退火機(jī)構(gòu);退火機(jī)構(gòu),其至少用于對(duì)所述第一鈣鈦礦層和第二鈣鈦礦層進(jìn)行退火處理,同時(shí),使所述第一部分結(jié)構(gòu)中的第一鈣鈦礦層與第二部分結(jié)構(gòu)中的第二鈣鈦礦層結(jié)合為一體。本實(shí)用新型不僅提高了設(shè)備利用率,還減少鈣鈦礦活性層在空氣中的暴露時(shí)間,從而可進(jìn)行大面積連續(xù)性制備。??