一種掩膜工藝中手動拆膜用平臺裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022475749.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213276254U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN213276254U | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | G03F1/72(2012.01)I;B65D19/44(2006.01)I;B65D19/38(2006.01)I;G03F1/48(2012.01)I;G03F1/82(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 華衛(wèi)群;尤春;朱磊;顧夢星;韋慶宇;楊東海 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫中微掩模電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 無錫蘇元專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 吳忠義 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道202號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型屬于半導體制造領(lǐng)域，提供了一種掩膜工藝中手動拆膜用平臺裝置，包括底座，底座的上端面設置有托盤槽，托盤槽內(nèi)放置有用于放置掩膜版的托盤，底座的上端面在托盤槽的外圍設置有若干下壓組件，每個下壓組件的下壓執(zhí)行部分位于托盤的上方。本實用新型提供的掩膜工藝中手動拆膜用平臺裝置，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，對掩膜版進行有效固定，防止拆膜過程中掩膜版出現(xiàn)晃動，避免掩膜版出現(xiàn)劃傷、報廢的情況。?? |
