一種掩模架子
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022475747.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213276258U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213276258U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 華衛(wèi)群;尤春;劉維維;顧夢(mèng)星;楊東海;張?jiān)聢A;薛文卿 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫中微掩模電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫蘇元專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳忠義 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新區(qū)菱湖大道202號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種掩模架子，包括曝光臺(tái)以及固定于所述曝光臺(tái)上方的激光器組件，其特征在于：所述曝光臺(tái)與所述激光器組件之間設(shè)有能調(diào)節(jié)且固定不同尺寸掩模的固定調(diào)節(jié)組件，通過(guò)搖動(dòng)轉(zhuǎn)柄，帶動(dòng)螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)，精準(zhǔn)控制同一活動(dòng)槽內(nèi)的第一滑塊與第二滑塊做相向運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)不同尺寸的掩模的固定作用，又通過(guò)第一滑塊上的彈簧、擋塊，避免螺紋調(diào)節(jié)過(guò)快，導(dǎo)致掩模損壞，而相對(duì)位置的第二滑塊未設(shè)置彈簧、擋塊，保證掩模該側(cè)的位置精準(zhǔn)，該側(cè)不產(chǎn)生彈性誤差，配合第一滑塊上的彈簧、擋板的擠壓固定作用，使掩模的調(diào)節(jié)定位更加精準(zhǔn)，又通過(guò)滾輪，減少調(diào)節(jié)過(guò)程中，滑塊與掩模底面的摩擦力，較少調(diào)節(jié)過(guò)程對(duì)掩模的磨損。?? |
