一種具有除塵功能的PECVD下料裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920059026.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209508406U 公開（公告）日 2019-10-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN209508406U 申請(qǐng)公布日 2019-10-18
分類號(hào) C23C16/50（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 康天天 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 高平市融高太陽能開發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 048000 山西省晉城市高平市馬村鎮(zhèn)康營(yíng)村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了PECVD下料裝置技術(shù)領(lǐng)域的一種具有除塵功能的PECVD下料裝置，包括下料本體與機(jī)械臂，下料本體頂部?jī)?nèi)壁設(shè)置有機(jī)械臂，機(jī)械臂底部外壁設(shè)置有連接板，連接板底部外壁設(shè)置有吸盤，下料本體左右兩側(cè)中央內(nèi)壁之間設(shè)置有托板，托板頂部外壁設(shè)置有風(fēng)刀，下料本體左側(cè)底部?jī)?nèi)壁設(shè)置有支撐板，支撐板頂部外壁設(shè)置有鼓風(fēng)機(jī)，裝置中通過引風(fēng)機(jī)工作，將下料本體內(nèi)部空氣抽入到收集箱中，使清理產(chǎn)生的氮化硅粉塵也被吸收到收集箱中，確保氮化硅粉塵不會(huì)四處飛濺，使周圍環(huán)境不被污染，保證工作人員的身體健康。